发明名称 A process and apparatus for the separation and recovery of unused starting materialsand secondary reaction products remaining after the production of ultra-pure siliconby the reduction of chlorinated silanes with hydrogen
摘要
申请公布号 GB904009(A) 申请公布日期 1962.08.22
申请号 GB19600033374 申请日期 1960.09.28
申请人 SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 C01B33/02;C01B33/04;C01B33/08 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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