Anordnung und Verfahren zur Entfernung von Verunreinigungen oder Modifizierung von Oberflächen von Substraten mittels elektrischer Bogenentladung

摘要

Die Erfindung betrifft eine Anordnung sowie ein Verfahren zur Entfernung von Verunreinigungen oder Modifizierung von Oberflächen von Substraten mittels elektrischer Bogenentladung. Aufgabe der Erfindung ist es, Möglichkeiten zu schaffen, mit der in einfacher und kostengünstiger Form Verunreinigungen von Substratflächen entfernt oder solche Oberflächen modifiziert werden können, ohne dass es zu einer ungleichmäßigen Entfernung von Verunreinigungen oder Oberflächenmodifizierung über die Substratoberfläche kommt. Erfindungsgemäß ist dabei an der Anode, die in Abstand zu einem als Kathode geschalteten Substrat angeordnet ist, ein im Inneren hohles Gehäuseelement elektrisch isoliert befestigt. Mit dem Gehäuseelement ist ein Bearbeitungsraum für die elektrische Bogenentladung ausgebildet. Die Oberfläche des Substrats und Anode mit Gehäuseelement sind relativ zueinander bewegbar und die Oberfläche des Substrats ist größer als die wirksame Fläche der Anode.