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发明名称 Messvorrichtung und Messsystem zum Inspizieren einer Oberfläche eines Substrates
摘要
申请公布号 DE102005046154(B4) 申请公布日期 2008.07.03
申请号 DE200510046154 申请日期 2005.09.27
申请人 SIEMENS AG 发明人 DROBNER, FRANZ;ROMBAUER, THEODORO
分类号 G01B21/30;G01B13/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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