| 发明名称 |
Programm zur Anlayse von Inspektionsdaten, Inspektionshilfsmittel, Vorrichtung zur Nachprüfung und Vorrichtung zur Ausbeuteanalyse |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE602004013890(D1) |
申请公布日期 |
2008.07.03 |
| 申请号 |
DE200460013890T |
申请日期 |
2004.07.06 |
| 申请人 |
HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORP. |
发明人 |
ONO, MAKOTO;ASAKAWA, YOHEI |
| 分类号 |
G05B19/418;G06T7/00;H01L21/02;H01L21/66 |
主分类号 |
G05B19/418 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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