| 发明名称 | 一种电化学蚀刻液及蚀刻方法 | ||
| 摘要 | 一种电化学蚀刻液，该蚀刻液为含有硫酸和磷酸的水溶液，其中，该蚀刻液中还含有表面活性剂。本发明提供的电化学蚀刻液以及蚀刻方法大大加快了蚀刻的速度，减少了侧蚀现象的发生。 | ||
| 申请公布号 | CN101210340A | 申请公布日期 | 2008.07.02 |
| 申请号 | CN200610172613.9 | 申请日期 | 2006.12.30 |
| 申请人 | 比亚迪股份有限公司 | 发明人 | 秦学;陈梁;宫清 |
| 分类号 | C25F3/04(2006.01) | 主分类号 | C25F3/04(2006.01) |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王凤桐;吴德明 |
| 主权项 | 1.一种电化学蚀刻液，该蚀刻液为含有硫酸和磷酸的水溶液，其特征在于，该蚀刻液中还含有表面活性剂。 | ||
| 地址 | 518119广东省深圳市龙岗区葵涌镇延安路比亚迪工业园 | ||