| 发明名称 | 基材支撑单元以及使用它的基材处理设备和方法 | ||
| 摘要 | 在处理中，基材支撑单元向基材供应涡流以使基材旋转并从夹板上漂浮。在使基材旋转并漂浮时进行处理。因此，当基材以无接触方式从夹板漂浮时支撑并旋转该基材。 | ||
| 申请公布号 | CN101211811A | 申请公布日期 | 2008.07.02 |
| 申请号 | CN200710199078.0 | 申请日期 | 2007.12.12 |
| 申请人 | 细美事有限公司 | 发明人 | 李泽烨;金奉主 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 梁兴龙;武玉琴 |
| 主权项 | 1.一种基材支撑单元，包括：夹板；以及涡流供应部件，用于向与所述夹板相对的基材表面供应涡流，以使所述基材从所述夹板上漂浮。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道 | ||