显示装置的制造方法

摘要

利用物镜集中激光束并且将其辐射到具有1微米或者更小的晶粒大小的非晶硅薄膜或者多晶硅薄膜上，从连续波形激光束开始处理激光束，(1)以便于利用EO调制器使其脉动并且在脉动时具有任意的随着时间的能量变化；(2)利用光束均匀器、具有任意透射率分布的滤波器和矩形狭缝使得具有任意的空间能量分布；和(3)利用高速旋转的漫射器来除去相干性。这样，有可能实现一种液晶显示设备，其中，在TFT面板装置中包含驱动电路，该驱动电路包括具有与单晶体属性基本相同的多晶硅膜。

主权项

1.一种使用薄膜晶体管的显示装置的制造方法，其特征在于按顺序进行以下工序：在基板上形成硅的多晶膜的第一工序，以及用连续振荡激光照射上述基板上形成的上述多晶膜的任意区域，使存在于该区域的该硅的晶粒熔化，并且将该基板面内的该连续振荡激光的投射位置沿规定方向扫描的第二工序，通过上述第二工序，使在上述区域熔化的上述硅再结晶，成为在与上述投射位置的扫描方向大约平行的方向上生长为较长的带状晶粒。