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发明名称 PLASMA DOPING METHOD
摘要
申请公布号 EP1826814(A4) 申请公布日期 2008.07.02
申请号 EP20050814536 申请日期 2005.12.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 SASAKI, YUICHIRO;OKASHITA, KATSUMI;ITO, HIROYUKI;MIZUNO, BUNJI;OKUMURA, T.
分类号 H01L21/22;H01L21/265 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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