| 发明名称 | 气瓶增压装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种气瓶增压装置，用于增加气瓶内部的压力，该装置包括一控制电路以及一加热设备，该控制电路接收来自气瓶的压力信号，根据该压力信号选择性输出一工作信号；该加热设备接收上述工作信号，对该气瓶进行加热增压。根据不同的使用需要，可以使用加热垫片或热水水管等加热设备。与现有技术相比，本发明的气瓶增压装置结构简单，容易实施，其提高了气瓶内气体的利用率，用于半导体制程领域可大大降低生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN101210649A | 申请公布日期 | 2008.07.02 |
| 申请号 | CN200610148079.8 | 申请日期 | 2006.12.27 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 钱吴全;蔡国辉;李伟;张勇 |
| 分类号 | F17C7/00(2006.01) | 主分类号 | F17C7/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王洁 |
| 主权项 | 1.一种气瓶增压装置，用于增加气瓶内部的压力，所述装置包括：一控制电路，其接收来自所述气瓶的压力信号，根据所述压力信号选择性输出一工作信号；一加热设备，其接收来自所述控制设备的工作信号，对所述气瓶进行加热。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江路18号 | ||