| 发明名称 | 气体集成单元 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种可以减小底座空间的气体集成单元。在气体集成单元中，设有：第一气体单元(72A、72B、72C)，控制第一气体的供给；第二气体单元(73)，与第一气体单元(72A、72B、72C)连接并通过多个流体控制部件(31～34、38A～43A、38B～43B、38C～43C)控制汇合至第一气体单元(72A、72B、72C)的清扫气体；和层叠块(61A、61B、61C)，叠置在第一气体单元(72A、72B、72C)上，并且，将流体控制部件的一部分(38A、38B、38C)叠置在层叠块(61A、61B、61C)上。 | ||
| 申请公布号 | CN101210317A | 申请公布日期 | 2008.07.02 |
| 申请号 | CN200710194075.8 | 申请日期 | 2007.11.30 |
| 申请人 | 喜开理株式会社 | 发明人 | 荻原立典;井上贵史;稻垣竹矢 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01);H01L21/00(2006.01);H01L21/205(2006.01);H01L21/285(2006.01) | 主分类号 | C23C16/44(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 田军锋;王爱华 |
| 主权项 | 1.一种气体集成单元，其特征在于，设有：第一气体单元，控制第一气体的供给；第二气体单元，与所述第一气体单元连接，通过多个流体控制部件控制汇合到所述第一气体单元的第二气体；和层叠块，叠置在所述第一气体单元上，并且，将所述流体控制部件的一部分叠置在所述层叠块上。 | ||
| 地址 | 日本爱知县小牧市 | ||