一种玻璃基片传输机器人

摘要

本发明属于工业用机器人技术领域，涉及一种玻璃基片传输机器人。其特征是包括升降机构I、旋转机构II、直线伸缩机构III和末端执行器IV，可实现Z向升降运动、θ向旋转运动和R向直线伸缩运动。三向运动相互独立，可实现单独或同时运动，其中θ向旋转运动和R向直线伸缩运动均采用谐波减速器减速，提高了定位精度。末端执行器IV采用真空夹持技术，提高了玻璃基片的传输效率。本发明的传输机器人结构紧凑、占地空间小、工作空间大、控制容易、运行平稳、运动惯量小、定位精度高，且可在洁净度较高的环境中工作。

主权项

1.一种玻璃基片传输机器人，包括实现Z向升降运动的升降机构(I)、实现θ向旋转运动的旋转机构(II)、实现R向直线伸缩运动的直线伸缩机构(III)和末端执行器(IV)，三向运动相互独立，实现单独或同时运动，其特征在于：升降机构(I)包括升降电机(2)、同步齿型带轮减速机构(1、11、12)、滚珠丝杠副、下筒(3)、外筒(4)、直线导轨副、螺母座(9)和滑块座(10)；所述升降电机(2)通过同步齿型带轮减速机构(1、11、12)与滚珠丝杠(5)相连；丝杠螺母(8)通过螺母座(9)与下筒(3)相连；两根直线导轨(6)对称安装，导轨滑块(7)通过滑块座(10)与下筒(3)相连，下筒(3)与外筒(4)通过螺栓固联；旋转机构(II)包括旋转电机(13)、θ向谐波减速器(14)、θ轴(15)、θ轴外筒(16)、圆锥滚子轴承(17)和轴承盖(18)；所述旋转电机(13)安装在θ轴外筒(16)上，并通过θ向谐波减速器(14)与θ轴(15)相连，θ轴(15)通过一对正装的圆锥滚子轴承(17)与θ轴外筒(16)相连，轴承盖(18)与θ轴外筒(16)固联；直线伸缩机构(III)包括R向电机(19)、R向谐波减速器(20)、R轴(21)、回转支架(22)、固定板(23)、大臂(24)和小臂(26)；所述R向电机(19)安装在回转支架(22)上，并通过R向谐波减速器(20)与R轴(21)相连，R轴(21)通过固定板(23)与大臂(24)相连，大臂(24)通过一级行星轮系(25)与小臂(26)相连，小臂(26)再通过二级行星轮系(27)与执行器体(32)相连；末端执行器(IV)包括放大器装置(28)、过渡板(29)、气路盖板(30)、真空吸盘(31)、执行器体(32)、传感器线盖板(33)、传感器(34)、导杆(35)和防撞块(36)；所述放大器装置(28)通过螺栓与执行器体(32)和过渡板(29)相连，执行器体(32)与气路盖板(30)、真空吸盘(31)组成气路系统，与传感器线盖板(33)、传感器(34)组成传感器系统，防撞块(36)通过导杆(35)与执行器体(32)相连。