| 发明名称 | 顶层防反射涂层聚合物及其制备方法以及包括它的顶层防反射涂料组合物 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种由下式1表示的顶层防反射涂层聚合物及包括它的组合物，式中R<SUB>1</SUB>和R<SUB>2</SUB>独立地为氢、甲基或氟甲基；R<SUB>3</SUB>和R<SUB>4</SUB>独立地为C<SUB>1-10</SUB>烃或其中氢原子全部或部分地被氟原子取代的C<SUB>1-10</SUB>烃；及a、b、c、d和e表示每种单体的摩尔份数，并且为约0.05～约0.9，使得a、b、c、d和e的和等于1。 | ||
| 申请公布号 | CN100398576C | 申请公布日期 | 2008.07.02 |
| 申请号 | CN200510109615.9 | 申请日期 | 2005.09.14 |
| 申请人 | 海力士半导体有限公司 | 发明人 | 郑傤昌;卜喆圭;林昌文;文承灿 |
| 分类号 | C08F220/10(2006.01);C09D133/04(2006.01);G03F7/11(2006.01) | 主分类号 | C08F220/10(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 张平元;赵仁临 |
| 主权项 | 1.一种由下式1表示的顶层防反射涂层聚合物：<img file="C2005101096150002C1.GIF" wi="1284" he="505" />式中R<sub>1</sub>和R<sub>2</sub>独立地为氢、甲基或氟甲基；R<sub>3</sub>和R<sub>4</sub>独立地为C<sub>1-10</sub>烃或其中氢原子全部或部分地被氟原子取代的C<sub>1-10</sub>烃；及a、b、c、d和e表示每种单体的摩尔份数，并且为0.05～0.9，使得a、b、c、d和e的和等于1。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||