X射线散斑装置及其在微位移测量中的应用

摘要

一种X射线散斑装置及其在微位移测量中的应用，所述的X射线散斑装置包括X射线散斑成像装置和读出装置两部分，所述的X射线散斑成像装置由X射线源、待测物、微波带片和记录介质组成，所述的的待测物置于X射线源输出的光路上，该待测物的法线与X射线光轴成一夹角θ，所述的微波带片和记录介质与待测物的法线同轴，所述的读出装置由同轴放置的He-Ne激光器、记录有散斑图样的照片和成像屏组成。本发明的X射线散斑装置工作在X射线波段，测试精度较可见光要高3～4数量级，由于采用微波带片预放大，结构非常简单，具有很高的学术价值和应用前景，将填补微位移测量的空白。

主权项

1.一种X射线散斑装置，其特征在于该装置包括X射线散斑成像装置和读出装置，所述的X射线散斑成像装置由相干硬X射线源(1)、待测物(2)、微波带片(3)和记录介质(4)组成，所述的待测物(2)置于相干硬X射线源(1)输出的光路上，该待测物(2)的法线与X射线光轴成一夹角θ，所述的微波带片(3)和记录介质(4)与待测物(2)的法线同轴，所述的读出装置由同轴放置的He-Ne激光器(5)、记录有散斑图样的照片(6)和成像屏(7)组成，所述的相干硬X射线源(1)是一台同步辐射源，或者X射线微聚焦管，波长从0.1到10；所述的待测物(2)是一种表面起伏在10以上的光学表面；所述的微波带片(3)是一块波带数大于500的成像波带片；所述的待测物(2)的法线与X射线光轴所成夹角θ的取值范围为10-50°。