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发明名称 Optical element for radiation in the EUV and/or soft X-ray wavelength range and an optical system comprising at least one optical element
摘要
申请公布号 EP1727158(A3) 申请公布日期 2008.07.02
申请号 EP20060010729 申请日期 2006.05.24
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 WEDOWSKI, MARCO;WEISS, MARKUS;MUELLENDER, STEPHAN;TRENKLER, JOHANN;ENKISCH, HARTMUT;SIPOS, GISELA;VAN MIERLO, HUBERT ADRIAAN;NIJKERK, MICHIEL DAVID;WIERINGA, FOKKO PIETER
分类号 G21K1/06;G03F7/20 主分类号 G21K1/06
代理机构 代理人
主权项
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