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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING AN OBJECT
摘要
申请公布号 EP1938273(A2) 申请公布日期 2008.07.02
申请号 EP20060780433 申请日期 2006.08.24
申请人 CAMTEK LTD. 发明人 BEN-LEVY, MEIR;PELEG, OPHIR
分类号 G01J3/44 主分类号 G01J3/44
代理机构 代理人
主权项
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