调平调焦机构

摘要

一种调平调焦机构，包括至少三个柔性调节机构，通过柔性调节机构实现升降动作，其中，两个柔性调节机构对称分布。本发明在负载的质量很大时仍可以得到一个较高的机械本征频率。凸轮刚度很好、传递功率很有效，而且耗散低，凸轮摩擦产生的热量小。杠杆形成的间接驱动方式，在大载荷、小行程、结构紧凑工况下通过伺服控制能达到亚微米精度，并很好地解决了耦合问题和干扰力问题，使调平调焦系统具有较好的抗干扰特性和动态性能，并且容易实现。

主权项

1.一种调平调焦机构，包括至少三个柔性调节机构，通过柔性调节机构实现升降动作，其中，两个柔性调节机构对称分布，其特征在于：柔性调节机构包括Z向调节支架、支撑Z向调节支架的板簧、固定在Z向调节支架的杠杆上的电机、固连在电机轴上的主动轴、靠摩擦力驱动的与主动轴相接触的凸轮，所述凸轮的轴固定在Z向调节支架的固定座上。