| 发明名称 | 感光性树脂组合物及粘合改良剂 | ||
| 摘要 | 本发明的感光性树脂组合物，其含有(a)碱可溶性树脂、(b)具有芳香族仲氨基和烷氧基的硅化合物、以及(c)选自光聚合引发剂、光酸发生剂和光碱发生剂中的至少1种。根据本发明，可以得到不损害溶液的保存稳定性、显著提高固化后的与基板的粘合性的同时，显影时不剥离微细图案的感光性树脂组合物。 | ||
| 申请公布号 | CN101213491A | 申请公布日期 | 2008.07.02 |
| 申请号 | CN200680024028.2 | 申请日期 | 2006.04.18 |
| 申请人 | 东丽株式会社 | 发明人 | 弓场智之;藤田阳二;富川真佐夫 |
| 分类号 | G03F7/085(2006.01);G03F7/075(2006.01);C08K5/544(2006.01) | 主分类号 | G03F7/085(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 熊玉兰;李平英 |
| 主权项 | 1.一种感光性树脂组合物，其含有(a)碱可溶性树脂、(b)具有芳香族仲氨基和烷氧基的硅化合物、以及(c)选自光聚合引发剂、光酸发生剂和光碱发生剂中的至少1种。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||