发明名称 利用金属氧化物纳米粒子制备电子器件的方法
摘要 一种制备薄膜晶体管的方法,其包括:(a)将包括半导体金属氧化物纳米粒子的分散体溶液沉积在衬底上,(b)烧结所述纳米粒子以形成半导体层,和(c)任选使得到的半导体层经沉积后处理。
申请公布号 CN101213671A 申请公布日期 2008.07.02
申请号 CN200680023413.5 申请日期 2006.06.22
申请人 3M创新有限公司 发明人 蒂莫西·D·邓巴
分类号 H01L29/786(2006.01) 主分类号 H01L29/786(2006.01)
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 郭国清;樊卫民
主权项 1.制备薄膜晶体管的方法,其包括:(a)将包括半导体金属氧化物纳米粒子的分散体溶液沉积在衬底上,(b)烧结所述纳米粒子以形成半导体层,和(c)任选使得到的半导体层经沉积后处理。
地址 美国明尼苏达州