发明名称 Negative-type photosensitive resin composition
摘要
申请公布号 EP1698935(A3) 申请公布日期 2008.07.02
申请号 EP20060251061 申请日期 2006.02.28
申请人 ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS, L.L.C. 发明人 ARAO, KEI;NOMURA, MAKOTO
分类号 G03F7/038 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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