| 发明名称 | 静电卡盘装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种静电卡盘装置，用于支撑和固定晶片，包括基座、设于基座上表面的绝缘层以及设于绝缘层下基座中的电极，该绝缘层包括与晶片接触凸起的圆形环状接触面；凸起的圆形环状接触面的面积占绝缘层上表面面积的0.5％～50％。电极的形状及分布分别对应于圆形环状凸起的接触面。由于接触面积的减少，使得非接触面空间有足够多的氦气等惰性气体流通，热传导更加均匀，晶片表面温度均匀的效果更加明显；减少绝缘层与晶片的接触面时，同样可以提供足够的静电吸附力，并且静电释放更加容易，缩短静电释放时间，提高了晶片加工的效率。 | ||
| 申请公布号 | CN101211810A | 申请公布日期 | 2008.07.02 |
| 申请号 | CN200610171547.3 | 申请日期 | 2006.12.30 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 吉美爱 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑立明;崔英华 |
| 主权项 | 1.一种静电卡盘装置，用于支撑和固定晶片，包括基座、设于基座上表面的绝缘层以及设于绝缘层下基座中的电极，其特征在于，所述绝缘层包括与晶片接触凸起的接触面；所述凸起的接触面的面积占绝缘层上表面面积的0.5％～50％。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 | ||