发明名称 METHOD FOR PLANARIZATION OF METAL LAYER OVER PHOTORESIST AND MICROMIRROR DEVICE
摘要
申请公布号 EP1938365(A2) 申请公布日期 2008.07.02
申请号 EP20060814963 申请日期 2006.09.20
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 DICARLO, ANTHONY;CHEN, JINGQIU;HE, YANGHUA;BAKER, JAMES, C.;ROTHENBURY, DAVID, A.
分类号 G03F7/40;G03F7/00 主分类号 G03F7/40
代理机构 代理人
主权项
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