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发明名称
METHOD FOR PLANARIZATION OF METAL LAYER OVER PHOTORESIST AND MICROMIRROR DEVICE
摘要
申请公布号
EP1938365(A2)
申请公布日期
2008.07.02
申请号
EP20060814963
申请日期
2006.09.20
申请人
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED
发明人
DICARLO, ANTHONY;CHEN, JINGQIU;HE, YANGHUA;BAKER, JAMES, C.;ROTHENBURY, DAVID, A.
分类号
G03F7/40;G03F7/00
主分类号
G03F7/40
代理机构
代理人
主权项
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