发明名称 |
非挥发性存储器的写入方法 |
摘要 |
一种非挥发性存储器的写入方法,提供非挥发性半导体存储器,包括半导体衬底,依次位于半导体衬底上的介质层-捕获电荷层-介质层三层堆叠结构和栅极,以及半导体衬底内位于介质层-捕获电荷层-介质层三层堆叠结构两侧的源极和漏极,包括:在非挥发性存储器的源极施加第一电压,为负值或者0;在非挥发性存储器的漏极施加第二电压;将非挥发性存储器的半导体衬底施加第三电压,为负值或者0;在非挥发性存储器的栅极施加第四电压。本发明提供的非挥发性存储器的写入方法,提高了存储器的写入速度。 |
申请公布号 |
CN101211926A |
申请公布日期 |
2008.07.02 |
申请号 |
CN200610148249.2 |
申请日期 |
2006.12.28 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
钟灿;繆威权;陈良成;刘鉴常 |
分类号 |
H01L27/115(2006.01);H01L29/792(2006.01);G11C16/10(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/115(2006.01) |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 |
代理人 |
逯长明 |
主权项 |
1.一种非挥发性存储器的写入方法,提供非挥发性半导体存储器,包括半导体衬底,依次位于半导体衬底上的介质层-捕获电荷层-介质层三层堆叠结构和栅极,以及半导体衬底内位于介质层-捕获电荷层-介质层三层堆叠结构两侧的源极和漏极,其特征在于,包括:在非挥发性存储器的源极施加第一电压,为负值或者0;在非挥发性存储器的漏极施加第二电压;将非挥发性存储器的半导体衬底施加第三电压,为负值或者0;在非挥发性存储器的栅极施加第四电压。 |
地址 |
201203上海市浦东新区张江路18号 |