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发明名称 METHOD FOR MAKING A THIN-FILM ELEMENT
摘要
申请公布号 EP1938362(A1) 申请公布日期 2008.07.02
申请号 EP20060808200 申请日期 2006.09.25
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 DEGUET, CHRYSTEL;CLAVELIER, LAURENT
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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