用于测量等离子体中电特性组的装置

摘要

公开了一种探针装置，其配置为测量等离子体处理室内的电特性组，该等离子体处理室包括配置为暴露于等离子体的等离子体室表面组。该探针装置包括收集盘结构，其配置为暴露于所述等离子体，由此，收集盘结构与该等离子体室表面组中的至少一个是共面的。该探针装置还包括传导路径，其配置为将该电特性组由该收集盘结构传输到转换器组，其中由该等离子体的离子通量产生该电特性组。该探针装置进一步包括绝缘阻挡部，其配置为大体上将收集盘结构和传导路径与所述等离子体室表面组电分离。

主权项

1.一种探针装置，其配置为测量等离子体处理室内的电特性组，所述等离子体处理室包括配置为暴露于等离子体的等离子体室表面组，所述探针装置包括：收集盘结构，其配置为暴露于所述等离子体，由此，所述收集盘结构与所述等离子体室表面组中的至少一个是共面的；传导路径，其配置为将所述电特性组从所述收集盘结构传输到转换器组，其中，所述电特性组由所述等离子体的离子通量产生；以及绝缘阻挡部，其配置为大体上将所述收集盘结构和所述传导路径与所述等离子体室表面组电分离。