带有可互换探针插头的探针卡组件

摘要

一种探针卡组件可包括被配置成保持探针插头的插头固定器，探针插头可包括以特定结构设置的探针，用于探测将被测试的器件。探针卡组件可将电接口提供给测试器，该测试器可以控制该器件的测试，并且在连接至探针卡组件的同时，插头固定器可保持探针插头，以使探针插头电连接至探针卡组件内的电路径，所述电路径对测试器而言是接口中的一部分。通过拆卸插头固定器、用新的探针插头更换该探针插头，然后将该插头固定器重新连接至探针卡组件，从而更换探针卡组件的探针插头。探针插头和固定器可以被整体形成，并且包括可以从探针卡组件拆卸且由不同探针插头和固定器更换的单一结构。

主权项

1.一种探针卡装置，包括：第一结构；第二结构，包括电触点；至电触点的多个顺应电连接；被配置成相对于第一结构改变第二结构的方位的机构；以及第三结构，包括被设置成接触将被测试的电子器件的多个探针，该第三结构被配置成连接到第二结构并从第二结构拆卸，其中在连接到第二结构的同时，所述探针中的探针被电连接至所述电触点中的电触点。