| 发明名称 | 描绘装置及描绘方法 | ||
| 摘要 | 一种描绘装置，使用预先取得描绘位置变动量信息去除描绘误差。上述描绘位置变动量信息与工作台(14)的移送方向位置对应地表示描绘位置变动量，该描绘位置变动量表示在工作台(14)的移送过程中产生的相对于描绘单元(30)而言的工作台(14)的位置变动。上述描绘误差是由描绘单元(30)在放置于工作台(14)的工件(12)上描绘图像图案时起因于工作台(14)的位置变动的误差。在将放置工件(12)的工作台(14)相对于描绘单元(30)进行移送的同时，利用描绘单元(30)在工件(12)上依次描绘与工作台的对于描绘单元(30)而言的各移送方向位置对应的部分图像图案，从而在工件(12)上描绘规定的图像图案。 | ||
| 申请公布号 | CN101213494A | 申请公布日期 | 2008.07.02 |
| 申请号 | CN200680023539.2 | 申请日期 | 2006.04.26 |
| 申请人 | 富士胶片株式会社 | 发明人 | 福井隆史;寺田和广;片山彻;上村宽 |
| 分类号 | G03F9/00(2006.01);G03F7/20(2006.01);G01B11/26(2006.01) | 主分类号 | G03F9/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 朱丹 |
| 主权项 | 1.一种描绘方法，在将放置工件的工作台相对于描绘单元进行移送的同时，利用该描绘单元，在放置于所述工作台的工件上，依次描绘与所述工作台的对于该描绘单元而言的各移送方向位置对应的部分图像图案，从而在所述工件上描绘规定的图像图案，使用预先取得的描绘位置变动量信息，除去起因于用所述描绘单元在放置于所述工作台的所述工件上描绘图像图案时的所述工作台的位置变动的描绘误差，其中，所述描绘位置变动量信息，与所述工作台的移送方向位置对应地表示描绘位置变动量，该描绘位置变动量表示在所述工作台的移送过程中产生的对于所述描绘单元而言的所述工作台的位置变动。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||