| 发明名称 | 液滴排放头及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开的一种液体排放头及其制造方法。该液滴排放头包括由硅基板制成的沟槽成形元件，其中沟槽成形元件中形成有沟槽，液体通过该沟槽导向喷嘴，所述沟槽具有表面粗糙度Ra不大于2μm的表面该。该方法包括如下步骤：提供硅基板；由硅基板形成沟槽成形元件，其中氢氧化钾溶液的浓度大于或等于25％，处理温度大于或等于80℃，以使所述沟槽具有表面粗糙度Ra不大于2μm的表面，在形成沟槽的步骤中添加了防止气泡附着到被刻蚀的表面上的工艺。该沟槽成形元件具有用于容纳将被加压的液体的压力腔室和用于将受压液体引导到喷嘴的喷嘴连通槽，其中在通过干式刻蚀硅基板形成非通孔之后，通过各向异性刻蚀硅基板形成喷嘴连通槽。 | ||
| 申请公布号 | CN100398322C | 申请公布日期 | 2008.07.02 |
| 申请号 | CN02816878.X | 申请日期 | 2002.12.05 |
| 申请人 | 株式会社理光 | 发明人 | 金原滋 |
| 分类号 | B41J2/16(2006.01);B41J2/045(2006.01) | 主分类号 | B41J2/16(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 李晓舒;魏晓刚 |
| 主权项 | 1.一种液滴排放头，包括由硅基板制成的沟槽成形元件，其中沟槽成形元件中形成有沟槽，液体通过该沟槽导向喷嘴，所述沟槽具有表面粗糙度(Ra)不大于2μm的表面。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||