光学检测装置

摘要

光学检测装置包括多个光学感测器、多个取像单元、多个检测单元、多个子控制单元、整合单元及主控制单元。这些光学感测器用以感测基板。这些取像单元分别用以驱动这些光学感测器，以采集多个图像信息。这些检测单元分别用以检测这些图像信息，并输出多个检测信息。这些子控制单元分别用以控制这些取像单元及这些检测单元。整合单元用以整合这些检测信息，并输出检测结果。主控制单元用以控制这些子控制单元。

主权项

1.一种光学检测装置，包括：多个光学感测器，用以感测基板；多个取像单元，分别用以驱动该光学感测器，以采集多个图像信息；多个检测单元，分别用以检测该图像信息，并输出多个检测信息；多个子控制单元，分别用以控制该取像单元及该检测单元；整合单元，用以整合该检测信息，并输出检测结果；以及主控制单元，用以控制该子控制单元。