发明名称 图像传感器及其制造方法
摘要 本发明提供一种图像传感器以及制造图像传感器的方法。该图像传感器可包括形成于衬底上的滤色层和位于滤色层上的微透镜阵列。微透镜阵列包括由低温氧化物层制成的第一组微透镜和由光致抗蚀剂层制成的第二组微透镜。可在第一组微透镜之间形成第二组微透镜以提供零间隙。本发明能够通过确保可复制性和在相邻的微透镜之间形成零间隙而提高灵敏度。
申请公布号 CN101211933A 申请公布日期 2008.07.02
申请号 CN200710154751.9 申请日期 2007.09.13
申请人 东部高科股份有限公司 发明人 赵殷相
分类号 H01L27/146(2006.01);H01L21/82(2006.01) 主分类号 H01L27/146(2006.01)
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人 郑小军
主权项 1.一种图像传感器,包括:微透镜阵列,形成于衬底上,该微透镜阵列包括:第一组微透镜,包含低温氧化物;第二组微透镜,包含光致抗蚀剂;以及滤色层,形成于所述微透镜阵列与所述衬底之间。
地址 韩国首尔