发明名称
摘要
申请公布号 JP4112207(B2) 申请公布日期 2008.07.02
申请号 JP20010327443 申请日期 2001.10.25
申请人 发明人
分类号 C30B25/18;H01L21/205;C30B29/42 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
主权项
地址