发明名称 A METHOD FOR FORMING THICK DIELECTRIC REGIONS USING ETCHED TRENCHES
摘要
申请公布号 EP1702358(A4) 申请公布日期 2008.07.02
申请号 EP20040813316 申请日期 2004.12.08
申请人 THIRD DIMENSION (3D) SEMICONDUCTOR, INC. 发明人 BLANCHARD, RICHARD, A.
分类号 H01L21/762;H01L21/265;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/06 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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