固定夹具及晶片之拾取方法与拾取装置

摘要

本发明之目的为提供一种固定夹具,可将半导体晶圆个片化后的晶片群不可移动地吸着,且可从被吸着的晶片群中选择性地确实剥离一个晶片而进行吸着。本发明之固定夹具3系由夹具基台30与密接层31所构成:而且于夹具基台30的单面设有凹部2,该凹部2系藉由与侧壁35约略同高度的分隔壁12而被分隔为小房间15,且以覆盖该凹部2的方式于侧壁35及分隔壁12之上缘设有密接层31,于前述各小房间15内分别形成有与外部连通的贯通孔17。