信号测量装置及半导体试验装置

摘要

本发明之目的在于提供一种信号测量装置,其能够于高水准下同时满足DC性能、杂讯性能、失真性能、及寄生性能等多种性能、以及提供一种具备该信号测量装置之半导体试验装置。本发明之信号测量装置(10)系具备:将从DUT20输出之类比信号(S10)转换为数位信号(S11a至S11n)之转换特性互为不同的复数个A/D转换器(11a至11n);及对应于各个A/D转换器(11a至11n)而设置,且因应所对应的A/D转换器(11a至11n)的转换特性进行预定处理之复数个数位电路(12a至12n)。