层流型无尘室之气流供应系统

摘要

一种层流型无尘室之气流供应系统,系应用于无尘室之工作空间与外壁之间所具之气流通道中,其包括回风地板、外气导风孔、复数进气单元、复数线型风道以及复数组过滤模组;其中,该层流型无尘室之气流供应系统系透过该回风地板之孔洞以及该外气导风孔分别导出该工作空间之空气以及导入外部空气至该气流通道中,该些空气在该气流通道混合后,藉由该进气单元将混合后之空气转换成气流且传导至该线型风道,再透过该过滤模组之阻抗变化分别将滤网表面出风气流速度均匀化及一致化,同时过滤此气流并据以导入无尘室工作空间;或先透过该线型风道之结构变化于该线型风道内将其内部压力均匀化,再透过该过滤模组将输出气流方向一致化并过滤输出气流再据以导入该无尘室之工作空间,此一速度均匀化之气流穿越该无尘室之工作空间后再穿越该回风地板进入该气流通道中,如此持续进行前述流程,俾可净化该无尘室之工作空间内之空气;本发明主要系透过每一组过滤模组对应一线型风道且每一线型风道对应一进气单元之方式形成气流,故具低成本之优点。