| 主权项 |
1.一种正型光阻组成物,其包含一种硷溶性酚醛清 漆树脂(A),该树脂包含以下通式(I)表示的结构单元 (a1): [其中,R1表示具1到5个碳原子的伸烷基,R2表示氢原 子、羟基或具1到4个碳原子的烷基,和m表示1到3的 整数],和一种以下通式(II)表示的结构单元(a2): [其中,R3表示氢原子、羟基或具1到4个碳原子的烷 基,和n表示1到3的整数],和一种光敏剂(B)。 2.一种正型光阻组成物,其包含一种硷溶性酚醛清 漆树脂(A'),该树脂包含以下通式(I)表示的结构单 元(a1): [其中,R1表示具1到5个碳原子的伸烷基,R2表示氢原 子、羟基或具1到4个碳原子的烷基,和m表示1到3的 整数],和一种以下通式(II)表示的结构单元(a2): [其中,R3表示氢原子、羟基或具1到4个碳原子的烷 基,和n表示1到3的整数],其中该一部分之包含在该 树脂内的羟基之氢原子被1,2-二叠氮磺醯基取 代。 3.如申请专利范围第2项之正型光阻组成物,进一步 包含一种光敏剂(B)。 4.一种形成光阻图案之方法,其包含将如申请专利 范围第1至3项中任一项之正型光阻组成物涂覆至 基材、进行预烘烤、完成选择性曝光、及然后完 成硷显影以形成光阻图案的步骤。 |
