| 摘要 |
一种曝光机光源的冷却气压装置,用以对一曝光机光源进行散热,该曝光机光源包括至少一灯管,该曝光机光源的冷却气压装置包含一调速阀、一开关元件、一第一管线及一第二管线。调速阀设置于第一管线,第一管线一端连接气压源,另一端分支为复数条用以连接至灯管的分支管路,开关元件设置于第二管线,第二管线一端连接气压源,另一端连接第一管线的两端之间,藉由开关元件与调速阀呈并联的管路配置,可供对应灯管在曝光或不曝光时,调整不同流量的冷却气体,使灯管达到适当的散热。 |
| 主权项 |
1.一种曝光机光源的冷却气压装置,用以对一曝光 机光源进行散热,该曝光机光源包括至少一灯管, 该曝光机光源的冷却气压装置包含: 一调速阀; 一开关元件; 一第一管线,包括一第一管段及一第二管段,该第 一管段与该第二管段的一端藉该调速阀相连接,该 第一管段的另一端连接一气压源,该第二管段的另 一端分支为复数分支管路,用以将该气压源供应的 气体送至该灯管进行散热;以及 一第二管线,包括一第三管段及一第四管段,该第 三管段与该第四管段的一端藉该开关元件连接,该 第三管段另一端连接该气压源,该第四管段另一端 连接该第二管段,该开关元件可供开放或关闭该第 三管段与该第四管段之间的连通。 2.依据申请专利范围第1项所述之曝光机光源的冷 却气压装置,更包含至少一流量计,设置于该第二 管线,用以量测通过该第二管线之气体流量。 3.依据申请专利范围第2项所述之曝光机光源的冷 却气压装置,其中,该流量计是数目对应该分支管 路的数目地分别设置于该等分支管路。 4.依据申请专利范围第1、2或3项所述之曝光机光 源的冷却气压装置,其中,该第四管段的另一端是 连接在该第二管段两端之间尚未分支处。 图式简单说明: 图1是习知曝光机灯管的冷却气压回路的管线示意 图;及 图2是本新型曝光机光源的冷却气压装置一较佳实 施例的管路示意图。 |
