微影中之旁瓣影像搜寻方法

摘要

一种用于侦测全晶片布局中之旁瓣的方法,全晶片布局具有设计于光罩上之主要图案。此方法包括以多边形或圆形图案来围绕主要图案。执行微影规则检验且使用多边形或圆形图案来为旁瓣搜寻主要图案。较佳以误差旗标来标记旁瓣之位置。