发明名称 定位对象物之再登录方法及记录该方法之记录媒体
摘要 提供因为探针12A之机种等之不同而导致摄影影像16A变动时,可于短时间再登录变动后之探针12A之摄影影像16A之定位对象物之再登录方法。本发明之再登录方法系具备:例如,依据对应前次所登录之4支探针12之宏观第1点-宏观第4点之第1影像资讯之位置资料,自动地移动第1 CCD摄影机14,利用该摄影机14以低倍率拍摄探针12A之针尖做为宏观第1点-宏观第4点之摄影步骤;直接再登录第1影像资讯之摄影条件及再登录时之摄影影像之步骤;依据第1影像资讯之位置资料,自动地移动第1 CCD摄影机14,利用该摄影机14,以高倍率拍摄探针12A做为微观第1点-微观第4点之步骤;以及再登录前次登录之第2影像资讯之摄影条件及再登录时之摄影影像之步骤。
申请公布号 TW200828132 申请公布日期 2008.07.01
申请号 TW096134894 申请日期 2007.09.19
申请人 东京威力科创股份有限公司 发明人 加贺美史
分类号 G06K9/20(2006.01);H01L21/68(2006.01);G01R1/073(2006.01) 主分类号 G06K9/20(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本