发明名称 | 定位对象物之再登录方法及记录该方法之记录媒体 | ||
摘要 | 提供因为探针12A之机种等之不同而导致摄影影像16A变动时,可于短时间再登录变动后之探针12A之摄影影像16A之定位对象物之再登录方法。本发明之再登录方法系具备:例如,依据对应前次所登录之4支探针12之宏观第1点-宏观第4点之第1影像资讯之位置资料,自动地移动第1 CCD摄影机14,利用该摄影机14以低倍率拍摄探针12A之针尖做为宏观第1点-宏观第4点之摄影步骤;直接再登录第1影像资讯之摄影条件及再登录时之摄影影像之步骤;依据第1影像资讯之位置资料,自动地移动第1 CCD摄影机14,利用该摄影机14,以高倍率拍摄探针12A做为微观第1点-微观第4点之步骤;以及再登录前次登录之第2影像资讯之摄影条件及再登录时之摄影影像之步骤。 | ||
申请公布号 | TW200828132 | 申请公布日期 | 2008.07.01 |
申请号 | TW096134894 | 申请日期 | 2007.09.19 |
申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 加贺美史 |
分类号 | G06K9/20(2006.01);H01L21/68(2006.01);G01R1/073(2006.01) | 主分类号 | G06K9/20(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 林志刚 | |
主权项 | |||
地址 | 日本 |