基板搬送机构

摘要

在知之的搬运卷带载体的搬送机构中,无论是采用穿孔的搬运机构、采用滚轮对进行夹持而搬送的手柄式滚轮搬运机构、或是夹住卷带的里外面而进行搬运的夹板机构,都会对卷带表面造成损伤。本发明提供一种基板检测器的搬送机构,滑动搬送部6A、6B中的吸附垫25、30系以交互地吸附保持带状基板5的里面之态样,而从搬送方向的上游向下游移动。藉由连续地进行如此之交互往复移动,使带状基板5在搬运方向上从上游侧移动到下游侧。