探测针、探测卡与探测针及探测结构之制造方法

摘要

一种探测针与其之制造方法,制造方法包括下述步骤。在一牺牲基材上形成条纹状外型之沟槽,使得沟槽之一顶部系大于其之一底部。以沟槽一方向之一相同距离,在各沟槽之两侧壁上形成倾斜部。穿过牺牲基材形成开口,以使倾斜部之一底端分别藉由各开口被暴露出。在各开口中形成一延伸部,且延伸部分别与倾斜部接触。在相邻沟槽之相接侧壁下的相邻倾斜部上形成一本体。将牺牲基材自最终结构上移除以形成探测针。