| 摘要 |
一种雷射光束传递系统及其方法,以及一种雷射剥离法,本发明之雷射光束传递系统包括一雷射光源、一光束均质机、一光罩,以及一成像透镜,雷射光源用以发出雷射光;光束均质机包括一微透镜型复眼透镜,以提升雷射光束能量强度均匀性,光罩用以遮蔽雷射光束截面的周围区域,雷射光束于焦点平面穿透光束均质机,成像透镜则用以将雷射光束作用于一目标之一单元照射区域。本发明系提升整个光束点能量强度之均匀性、显着提高加工产量、提高光束穿透率,以及增加每单位时间产量,还有简化生产过程、降低生产成本,以及提升发光二极体市场的兢争力。 |
