工件清洁用带匣

摘要

本发明系提供一种基板清洁用带匣,其系以使用黏着带将附着在为工件之基板的异物确实而有效率地去除而可有效地活用。在解决之手段方面,具备:带供应部22,系供应黏着带T;带回收部24,系将黏贴于为工件之基板剥离后的黏着带T卷绕回收;及外壳19,系收容带供应部22与带回收部24,同时具有用于将黏着带T贴附于基板之带露出部分。