| 发明名称 | 金属蚀刻方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种金属蚀刻方法,包含以下步骤:提供一基板;形成一金属层于基板之上;形成一氧化铝层于金属层之上;图案化氧化铝层;以及以图案化氧化铝层为罩幕,蚀刻金属层。 | ||
| 申请公布号 | TW200827485 | 申请公布日期 | 2008.07.01 |
| 申请号 | TW095148369 | 申请日期 | 2006.12.22 |
| 申请人 | 南亚科技股份有限公司 | 发明人 | 李秀春;吴常明;陈逸男 |
| 分类号 | C23F1/04(2006.01);G03F1/14(2006.01);G03F1/08(2006.01) | 主分类号 | C23F1/04(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 蔡玉玲 | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号 | ||