液体材料之填充方法,装置及程式

摘要

本发明提供一种不需要计算复杂之参数且容易控制的液体材料之填充方法、装置及记录有程式之记录媒体。本发明系关于一种液体材料之填充方法、用以实施该方法之装置及记录有程式之记录媒体,其中,该液体材料之填充方法,为在基板与其上载置的工件之间隙利用毛细管现象填充从吐出部吐出的液体材料之方法;其沿工件之外周作成由暂时停止点及非停止区域所构成的涂布图案,藉由增减吐出部在暂时停止点之停止时间而校正液体材料之吐出量。