三族氮化物表面声波紫外光感测装置

摘要

本专利系揭露一种利用三族氮化物制作表面声波紫外光感测装置。藉由选择三族氮化物中拥有良好光电及压电特性之材料,如氮化铝、氮化镓、氮化铝镓,可制作成表面声波光感测器。若是单层结构表面声波元件,可单一感测某波段波长之光;若是多层结构表面声波元件,可分辨出不同光波段之光感测器。