电子材料的清洗液及清洗方法

摘要

本发明系有关一种用于电子材料特别是矽晶圆的清洗液,及使用该清洗液的清洗方法。根据本发明之清洗液的特征在于,使用超纯水或加氢水作为原料水,并在氢微泡存在下,结合超音波辐射使用该清洗液。本发明之方法能有效清洗并除去该晶圆表面的颗粒成分等,且避免再污染。