应用于模造玻璃之模仁及其去膜方法

摘要

本发明提出一种应用于模造玻璃之模仁,包括底材及其上的去膜层及保护膜层,其中底材的材料为碳化钨、去膜层的材料则为氮化钨或W-Me-N化合物,其中添加的Me包括至少一种元素,且Me是指过渡金属。而保护膜层的材料是选自包括铱、铼、铂、钯、铑、锇、钌、钨及钽中的两种或两种以上材料之合金。因为设有一层去膜层,所以在保护膜层损坏后,可先使用离子轰击去除保护膜层,再以化学反应蚀刻移除去膜层。此方法可达到不损伤模仁底材的功效,使模仁能够被重复再利用,以减少成本。