| 摘要 |
一种形成奈米碳管与金属复合材料的电镀互连导线的方法被揭示,包含于一含有金属离子及奈米碳管的电镀浴中对一表面具有一导电基线的基材进行电镀,于是在该导电基线上形成奈米碳管与金属复合材料的电镀互连导线。本发明亦揭示另一种形成奈米碳管与金属复合材料的电镀互连导线的方法,包含准备一奈米碳管的分散液,其包含一有机溶剂及分散于该有机溶剂的奈米碳管;将该奈米碳管的分散液印刷于一基材的一表面,及从该表面挥发移除该有机溶剂,而形成一导电基线;及于一含有金属离子的电镀浴中对该表面进行电镀,于是在该导电基线上形成奈米碳管与金属复合材料的电镀互连导线。 |
| 主权项 |
1.一种形成奈米碳管与金属复合材料的电镀互连 导线的方法,包含准备一奈米碳管的分散液,其包 含一有机溶剂及分散于该有机溶剂的奈米碳管;将 该奈米碳管的分散液印刷于一基材的一表面,及从 该表面挥发移除该有机溶剂,而形成一导电基线; 及于一含有金属离子的电镀浴中对该表面进行电 镀,于是在该导电基线上形成奈米碳管与金属复合 材料的电镀互连导线。 2.如申请专利范围第1项的方法,其中该奈米碳管与 金属复合材料为奈米碳管与铜复合材料,其中该电 镀浴包含一含有铜离子及电解质阴离子的电镀水 溶液。 3.如申请专利范围第1项的方法,其中该奈米碳管与 金属复合材料为奈米碳管与铜复合材料,其中该电 镀浴包含一含有铜离子及电解质阴离子的电镀水 溶液,及一有机溶剂及分散于该有机溶剂的奈米碳 管。 4.如申请专利范围第3项的方法,其中在进行电镀时 该电镀浴被施予一超音波震荡。 图式简单说明: 图1及图2显示使用铜的电镀水溶液与一奈米碳管 分散液的混合作为电镀浴于一还原电极上电镀奈 米碳管与铜复合材料的SEM照片,其中图1的电镀时 间为80秒而图2为300秒。 |
