| 摘要 |
本发明提供一种液滴喷出装置,其可缩短功能液滴喷头之喷出驱动停止时间,并防止功能液滴喷头之喷出不良。液滴喷出装置(1)系使用主扫描移动机构(11),其使搭载有功能液滴喷头(82)之头部单元(13)于主扫描方向相对移动,对于面临描绘区域之设定台(21),一面使头部单元(13)于描绘区域中相对移动,一面喷出驱动功能液滴喷头(82),于设定台(21)上之工件(W)上进行描绘处理,其中具备:定期冲洗单元(112),其配设于自描绘区域偏离至主扫描方向之主扫描移动轴上,接受非描绘处理时之来自功能液滴喷头(82)之废弃喷出;及描绘前冲洗单元(111),其与设定台(21)邻接并面临描绘区域,接受描绘处理时所进行的来自功能液滴喷头(82)之废弃喷出。 |
| 主权项 |
1.一种液滴喷出装置,其使用主扫描移动机构,该主 扫描移动机构系使搭载有形成有复数个喷出喷嘴 之功能液滴喷头之头部单元于主扫描方向上相对 移动,对于面临描绘区域之设定台,一面使上述头 部单元于上述描绘区域内于主扫描方向相对移动, 一面使上述功能液滴喷头喷出驱动,藉此对设置于 上述设定台之工件进行描绘处理,其特征在于含有 : 定期冲洗单元,其配设于自上述描绘区域偏离至上 述主扫描方向之主扫描移动轴上,并接受非描绘处 理时之来自上述功能液滴喷头之全部喷出喷嘴的 废弃喷出;及 描绘前冲洗单元,其邻接于上述设定台并面临上述 描绘区域,接受上述描绘处理时于对上述工件即将 开始描绘前所进行的来自上述功能液滴喷头之全 部喷出喷嘴之废弃喷出。 2.如请求项1之液滴喷出装置,其中上述主扫描移动 机构支持上述设定台、上述定期冲洗单元及上述 描绘前冲洗单元,并且使该等相对于上述头部单元 于主扫描方向移动。 3.如请求项2之液滴喷出装置,其中上述主扫描移动 机构具有滑动器,该滑动器于上述主扫描方向自由 移动地支持; 上述定期冲洗单元与上述设定台共同由上述滑动 器所支持; 上述描绘前冲洗单元由上述设定台所支持。 4.如请求项2之液滴喷出装置,其中上述主扫描移动 机构具有第一滑动器,该第一滑动器于上述主扫描 方向自由移动地支持上述设定台;及 第二滑动器,该第二滑动器与上述第一滑动器被个 别控制,并于上述主扫描方向自由移动地支持上述 定期冲洗单元; 上述描绘前冲洗单元由上述设定台所支持。 5.如请求项1至4中任一项之液滴喷出装置,其中进 而具备控制机构,该控制机构控制上述功能液滴喷 头及上述主扫描移动机构,且上述定期冲洗单元构 成如下:经由上述设定台,于将上述工件移动至用 以换装之工件换装位置之状态下,移动至面临上述 头部单元之冲洗位置; 上述控制机构与上述工件之换装作业同时进行,并 使上述功能液滴喷头进行上述废弃喷出。 6.如请求项5之液滴喷出装置,其中上述描绘处理藉 由以下而进行: 主扫描,其于上述描绘区域内一面使上述设定台于 上述主扫描方向移动,一面使上述功能液滴喷头喷 出驱动;及 副扫描,其于上述描绘区域内使上述头部单元于副 扫描方向移动; 上述描绘前冲洗单元之上述副扫描方向之长度与 上述副扫描之移动轨迹之长度对应。 7.如请求项6之液滴喷出装置,其中上述定期冲洗单 元之上述副扫描方向之长度与上述副扫描之移动 轨迹之长度对应。 8.如请求项1至4中任一项之液滴喷出装置,其中进 而具备喷出不良检查单元,该喷出不良检查单元藉 由来自上述功能液滴喷头之全部喷出喷嘴之检查 喷出,以图像识别由被描绘单元所喷出之检查图案 ,并检测上述功能液滴喷头之喷出不良; 上述被描绘单元配设于主扫描移动轴上,该主扫描 移动轴系自上述描绘区域偏离至上述主扫描方向, 且位于上述描绘区域与上述定期冲洗单元之间。 9.一种光电装置之制造方法,其特征在于:使用如请 求项1至8中任一项之液滴喷出装置,于上述工件上 形成功能液滴之成膜部。 10.一种光电装置,其特征在于:使用如请求项1至8中 任一项之液滴喷出装置,于上述工件上形成功能液 滴所成之成膜部。 11.一种电子机器,其特征在于:其搭载有藉由请求 项9之光电装置之制造方法而制造之光电装置或请 求项10之光电装置。 图式简单说明: 图1系本发明之实施形态之液滴喷出装置之说明图 ,且系设定台(吸附台)面向工件更换位置时之外观 立体图。 图2系于设定台(吸附台)面向工件更换位置之状态 下,除去桥接板之液滴喷出装置之平面图。 图3系设定台(吸附台)面向工件更换位置时之液滴 喷出装置之侧面图。 图4系功能液滴喷头之外观立体图。 图5系顶板周边之说明图,且系自载具单元之下侧 所视之顶板之平面图。 图6系搭载于头部单元之功能液滴喷头之配色图案 之说明图。 图7A-C系彩色滤光片之配色图案之说明图,7A表示条 纹排列,7B表示马赛克排列,7C表示三角排列。 图8A-C系液滴喷出装置之描绘处理之说明图,8A系关 于第一描绘动作之平面模式图,8B系关于第二描绘 动作之平面模式图,8C系关于第三描绘动作之平面 模式图。 图9系X轴空气滑动器周围之外观立体图。 图10系说明描绘装置之主控制系统之方块图。 图11系说明彩色滤光片制造步骤之流程图。 图12A-E系依制造工序顺序所示之彩色滤光片之模 式剖面图。 图13系表示适用于本发明之使用彩色滤光片之液 晶装置之概大致结构之主要部分剖面图。 图14系表示适用于本发明之使用彩色滤光片之第 二例液晶装置之大致结构之主要部分剖面图。 图15系表示适用于本发明之使用彩色滤光片之第 三例液晶装置之大致结构之主要部分剖面图。 图16系作为有机EL装置之显示装置之主要部分剖面 图。 图17系说明作为有机EL装置之显示装置之制造工序 之流程图。 图18系说明形成无机物存储体层之工序图。 图19系说明形成有机物储体层之工序图。 图20系说明形成电洞注入/输送层之过程之工序图 。 图21系说明形成有电洞注入/输送层之状态之工序 图。 图22系说明形成蓝色发光层之过程之工序图。 图23系说明形成蓝色发光层之状态之工序图。 图24系说明形成各色发光层之状态之工序图。 图25系说明形成阴极之工序图。 图26系作为电浆型显示装置(PDP装置)之显示装置之 主要部分分解立体图。 图27系作为电子发射装置(FED装置)之显示装置之主 要部分剖面图。 图28A-B系显示装置之电子发射部周围之平面图(28A) 及表示其形成方法之平面图(28B)。 |
