| 主权项 |
1.一种距离估计装置,系以热处理手段对被处理物 进行热处理时,估计前述被处理物与前述热处理手 段之距离的估计装置,其特征为: 具备距离估计手段,其系依据前述被处理物及前述 热处理手段之至少任何一方之温度资讯,而估计前 述距离。 2.如申请专利范围第1项之距离估计装置,其中前述 热处理系使前述被处理物接近前述热处理手段而 进行者。 3.如申请专利范围第2项之距离估计装置,其中前述 温度资讯包含前述接近后之温度变化资讯,前述距 离估计手段于前述温度变化愈大,估计前述距离愈 小。 4.如申请专利范围第2项之距离估计装置,其中前述 温度资讯包含前述接近后的前述热处理手段之温 度,与前述被处理物之温度的温度差变化的资讯, 前述距离估计手段于前述温度差之变化愈大,估计 前述距离愈小。 5.如申请专利范围第1项之距离估计装置,其中前述 距离估计手段除前述至少任何一方之温度资讯外, 还依据控制前述热处理手段之温度的温度控制手 段之操作量资讯,来估计前述距离。 6.如申请专利范围第5项之距离估计装置,其中前述 操作量资讯系前述接近后之前述温度控制手段之 操作量的资讯,前述距离估计手段于前述操作量愈 大,估计前述距离愈小。 7.如申请专利范围第6项之距离估计装置,其中前述 距离估计手段具备:第一估计部,用以估计被处理 物与热处理手段间之热电阻;及第二估计部,其系 依据估计之热电阻来估计前述距离。 8.如申请专利范围第2至7项中任一项之距离估计装 置,其中用于以前述距离估计手段来估计前述距离 之前述各资讯,系前述接近之后,且系前述热处理 手段之温度恢复为一定温度前之期间一部分中的 资讯。 9.如申请专利范围第8项之距离估计装置,其中前述 热处理手段系搭载前述被处理物而进行热处理之 热板。 10.如申请专利范围第9项之距离估计装置,其中前 述距离估计手段分别估计前述热处理手段之数点 与前述被处理物对应之数点的距离。 11.如申请专利范围第10项之距离估计装置,其中前 述热处理系加热处理及冷却处理之至少任何一方 之处理。 12.一种异常检测装置,其特征为具备:前述申请专 利范围第1至11项中任一项之距离估计装置;及判定 手段,其系比较该距离估计装置所估计之距离与临 限値,来判定热处理有无异常。 13.一种异常检测装置,其特征为具备:前述申请专 利范围第10项之距离估计装置;及判定手段,其系依 据该距离估计装置所估计之数点的距离,来判定前 述被处理物之状态, 依据前述判定手段之输出来检测异常。 14.一种温度调节器,其特征为:具备前述申请专利 范围第1至11项中任一项之距离估计装置,并控制前 述热处理手段之温度。 15.如申请专利范围第14项之温度调节器,其中具备 修正手段,其系使用以检测前述热处理手段之温度 之温度检测手段的检测温度成为设定温度,而控制 前述热处理手段之温度者,且依据前述距离估计装 置所估计之距离,来修正前述设定温度及前述检测 温度之至少任何一方。 16.一种温度调节器,其特征为:具备前述申请专利 范围第12或13项之异常检测装置,并控制前述热处 理手段之温度。 17.一种热处理装置,其特征为具备:前述申请专利 范围第14至16项中任一项之温度调节器;前述热处 理手段;操作手段,其系依据前述温度调节器之输 出,将前述热处理手段予以加热及/或冷却;及温度 检测手段,其系检测前述热处理手段之温度。 图式简单说明: 第1图系具备本发明一种实施形态之温度调节器之 系统的概略构造图。 第2图系概略显示工件与热板之位置关系图。 第3图系用于说明第1图之实施形态之距离估计的 基本构想之图。 第4图系显示热板之温度变化之图。 第5图系显示热板之温度斜率之图。 第6图系具备本发明其他实施形态之温度调节器之 系统的概略构造图。 第7图系用于说明第6图之实施形态之距离估计的 基本构想之图。 第8图系显示第6图之实施形态之估计距离图。 第9图系具备本发明其他实施形态之温度调节器之 系统的概略构造图。 第10图系显示第9图之工件模型之图。 第11图系本发明其他实施形态之异常检测装置之 方块图。 第12图系本发明其他实施形态之温度调节器的重 要部分之方块图。 |
